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  • 磁控溅射镀膜仪

    • 1/人
      使用者
    • 19/次
      總次數
    • 5122/小時
      總時長
    • 2/人
      收藏者

    收費標準

    機時
    0元/小时

    設備型號

    ATC-1800F

    當前狀態

    管理員

    admin 010-623333914

    放置地點

    学院、校区材料科学与工程学院主楼227
    • 儀器信息
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    • 公告
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    名稱

    磁控溅射镀膜仪

    資產編號

    20064607

    型號

    ATC-1800F

    規格

    *

    產地

    美国

    廠家

    AJA

    所屬品牌

    出產日期

    2006-12-30

    購買日期

    2006-12-30

    所屬單位

    材料科学与工程学院

    使用性質

    科研

    所屬分類

    真空喷膜台和离子溅射台

    資產負責人

    --

    聯系電話

    010-623333914

    聯系郵箱

    *

    放置地點

    学院、校区材料科学与工程学院主楼227
    • 主要規格&技術指標
    • 主要功能及特色
    • 樣本檢測注意事項
    • 設備使用相關說明
    • 備注
    主要規格&技術指標
    1、主真空室的本底真空優于2×10-8Torr;2、四英寸的基片范圍內薄膜厚度均勻性優于±2%;3、可以濺射磁性和非磁性金屬、進行直流和射頻濺射;4、基片可以加熱(800℃)、冷卻(水冷);5、全自動控制;6、18英寸主濺射室;7、高真空泵抽系統;8、超高真空磁控濺射靶;直流/射頻電源;9、4英寸樣品臺;10、PhaseII-J控制系統。
    主要功能及特色
    納米磁性薄膜制備設備,可以制備納米磁性薄膜,能加熱,共五個靶位。
    樣本檢測注意事項
    納米磁性薄膜制備設備,可以制備納米磁性薄膜,能加熱,共五個靶位。
    設備使用相關說明
    工作日開放,提前預約
    備注
    視具體實驗內容而定
    預約資源
    檢測項目
    附件下載
    公告
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