磁控溅射镀膜仪
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1/人使用者
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19/次總次數
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5122/小時總時長
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2/人收藏者
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收費標準
機時0元/小时 -
設備型號
ATC-1800F -
當前狀態
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管理員
admin 010-623333914 -
放置地點
学院、校区材料科学与工程学院主楼227
- 儀器信息
- 預約資源
- 檢測項目
- 附件下載
- 公告
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名稱
磁控溅射镀膜仪
資產編號
20064607
型號
ATC-1800F
規格
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產地
美国
廠家
AJA
所屬品牌
出產日期
2006-12-30
購買日期
2006-12-30
所屬單位
材料科学与工程学院
使用性質
科研
所屬分類
真空喷膜台和离子溅射台
資產負責人
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聯系電話
010-623333914
聯系郵箱
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放置地點
学院、校区材料科学与工程学院主楼227
- 主要規格&技術指標
- 主要功能及特色
- 樣本檢測注意事項
- 設備使用相關說明
- 備注
主要規格&技術指標
1、主真空室的本底真空優于2×10-8Torr;2、四英寸的基片范圍內薄膜厚度均勻性優于±2%;3、可以濺射磁性和非磁性金屬、進行直流和射頻濺射;4、基片可以加熱(800℃)、冷卻(水冷);5、全自動控制;6、18英寸主濺射室;7、高真空泵抽系統;8、超高真空磁控濺射靶;直流/射頻電源;9、4英寸樣品臺;10、PhaseII-J控制系統。
主要功能及特色
納米磁性薄膜制備設備,可以制備納米磁性薄膜,能加熱,共五個靶位。
樣本檢測注意事項
納米磁性薄膜制備設備,可以制備納米磁性薄膜,能加熱,共五個靶位。
設備使用相關說明
工作日開放,提前預約
備注
視具體實驗內容而定
預約資源
檢測項目
附件下載
公告
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